モリブデン製ルツボとその製造方法、およびサファイア単結晶の製造方法

従来、金属蒸発容器、金属酸化物溶解容器、結晶製作用容器等の高温で用いられる製造装置の一構成部品として、底部と側壁部とが角部を介して連結された上部 開放の有底筒状のモリブデン製ルツボが用いられている。

このようなモリブデン製ルツボは、モリブデン 鍛造体を切削加工することにより、あるいはモリブデンからなる板材を絞り加工することにより製造されている。例えば、特開平１１−１６９９９３号公報（特許文献１）には、モリブデン 鍛造体を用いたルツボが開示されているが、 鍛造加工は 鍛造加工に伴う押圧や引き延ばしにより粒径の大きなモリブデン結晶粒が発生しやすく、特に加工量の大きい角部においてこのような現象が顕著となるために 高温強度が低下しやすい。

また、モリブデンからなる板材を絞り加工する方法については、側壁部の肉厚減少が避けられず、また底部と側壁部とを繋ぐ角部の 繊維組織がみ だれやすくなるために 高温強度に大きなバラツキが発生する。

高温強度、特に底部と側壁部とを連結する角部の 高温強度に優れるモリブデン製ルツボを提供すること。 純度９９％以上のモリブデンからなり、底部２と側壁部３とが角部４を介して連結された上部 開放の有底筒状のモリブデン製ルツボ１であって、前記モリブデンは、粒径が１０μｍ以上１００μｍ以下のモリブデン結晶粒の割合が 粒子数の割合で９０％以上であるもの。